膜厚測(cè)量?jī)x的功能特點(diǎn)：

1、自動(dòng)對(duì)焦功能 。配備激光自動(dòng)對(duì)焦功能，能夠準(zhǔn)確對(duì)焦，提高測(cè)量效率。

2、具有焦點(diǎn)距離切換功能，適用于有凹凸的機(jī)械部件與電路板的底部進(jìn)行測(cè)量

3、采用檢量線法和FP法，兩個(gè)準(zhǔn)直器可自動(dòng)切換，采用激光自動(dòng)對(duì)焦，并配備有Z軸防沖撞傳感器，可防止在對(duì)焦時(shí)造成的損壞。

4、選用Mo靶材X射線管，測(cè)量貴金屬更靈敏。

5、支持多種語(yǔ)言的軟件系統(tǒng)。簡(jiǎn)體中文、繁體中文、英語(yǔ)、日語(yǔ)、韓語(yǔ)

6、 搭載樣品尺寸的兼容性，可適用于各種樣品，能夠通過(guò)一臺(tái)儀器測(cè)量，從電子部件、電路板到機(jī)械部件等高度較高的樣品，從較厚的樣品(機(jī)械零部件)之大型線路板(PCB)及電子元器件等

7、鹵素?zé)粽彰?/div>10、多種修正功能、基材修正、已知樣品修正、人工輸入修正。